ООО «ЭУФ-Лабс»
Компания ООО «ЭУФ-Лабс» создана совместно с Фондом инфраструктурных и образовательных программ (ФИОП) РОСНАНО. Специализация компании - оптические технологии — нанодиагностика, метрология, нанолитография, создание сверхъярких EUV источников (EUV — Extreme UltraViolet, глубокий или жесткий ультрафиолет).
ООО «РнД-М»
Компания ООО «РнД-М» сформирована для создания компьютерных моделей сложных физических процессов, численного моделирования, создания программного обеспечения и обработки больших массивов экспериментальных данных.
ООО «Троицкий инженерный центр»
Компания ООО «ТИЦ» создана для разработки и производства приборов и компонентов для научных исследований и аналитических лабораторий, электроники, организации производства и продаж научного оборудования.
ООО «РнД-Х-метр»
Компания ООО «РнД-Х-метр» - стартап, организованный для разработки и производства специализированного диагностического оборудования. Прежде всего это оборудование для работы с экстремальным ультрафиолетовым излучением (ЭУФ или EUV) и рентгеновским излучением.