ЭУФ Литография
Экстремальное ультрафиолетовое излучение в настоящее время являет одной из самых интенсивно исследуемых областей электромагнитного спектра. Это связано с переходом процессов производства в микроэлектронике на этот диапазон. Это процесс производства микрочипов, метрология (инспекция фотошаблонов), микроскопия.
Основные работы в этом направлении сосредоточены в области разработки элементов оптических систем, источников излучения, детекторов, систем диагностики плазмы и т.д.
Источники излучения
Наша компания занимается разработкой и совершенствованием лазерных и плазменных источников излучения. Накоплен значительный опыт в этой области. Общее направление работ в этой области – охват новых диапазонов длин волн, увеличение мощности и спектральной яркости излучения, применение принципиально новых технологий для создания источников света.
Спектрометры, детекторы и датчики
Изучение, диагностика и контроль различных процессов (например, диагностика плазмы), требуют разработки специализированных спектрометров и детекторов. В нашей компании разработаны специализированные спектрометры и детекторы для контроля ультрафиолетового излучения, рентгеновского излучения, детекторы ионов. Ведутся разработки датчиков для сложных газовых смесей (например, определение содержания воды в природном газе) и материалов.
Численное моделирование
Исследования и разработки новых процессов и технологий в подавляющем большинстве случаев требуют детального моделирования. «РнД-ИСАН» использует методы численного моделирования (компьютерного моделирования) для описания и оптимизации процессов, происходящих в плазменных источниках излучения, взаимодействия излучения с поверхностью, поведения жидкостей и газов в различных условиях.
Сложность исследуемых и разрабатываемых процессов требует одновременного учёта большого числа существенно разных физических явлений. Часто коммерчески доступные программные пакеты и среды разработки не являются достаточно полными для решения специализированных задач или имеют неполные модели. Для решения таких задач требуется создание уникальных численных моделей, описывающих условия и особенности конкретных задач.
В компании РнД-ИСАН модели разрабатывают непосредственно в процессе совместной работы теоретической и экспериментальной групп. Это позволяет оценивать применимость модели экспериментально, измерять многие необходимые неизвестные физические параметры. Такой подход позволяет не только повышает качество результатов численного моделирования, но и создавать более достоверные модели процессов.