Компания РнД-ИСАН специализируется на разработках в области спектроскопии и микроскопии. Интересы компании сосредоточены в области разработок специализированных спектрометров для диапазона от мягкого рентгена до инфракрасного излучения. Ключевое направление – исследования и разработки для работ в области экстремального ультрафиолетового излучения (EUV)
Исследования и разработки в области спектроскопии и микроскопии включают:
- анализ требований заказчика;
- подбор решения под заявленные требования (принцип работы, оптическая схема и т.д.);
- разработка конструкторских решений для выбранной схемы;
- создание испытательного стенда;
- создание прототипа;
- производство мелких серий спектрометров;
- авторский надзор при постановке на производство.
Предметом разработок может являться:
- разработка спектрометров и спектрографов. Сюда можно отнести разработку как полностью законченных устройств, так и элементов установок заказчиков (например, пользователь устанавливает спектрометр на собственную исследовательскую установку и подключает собственный детектор);
- разработки по интеграции разработанных нами спектрометров и спектрографов с различными типами детекторов, источниками излучения, исследовательскими и производственными установками;
- исследования и разработки в области специализированной микроскопии. Компания имеет опыт в разработке специализированных микроскопов под различные методики и для разных диапазонов излучения. Например, специализированная микроскопия в тёмном поле, микроскопия «светового листа», микроскопия в экстремальном ультрафиолетовом излучении или мягком рентгене.
Рентгеновский диапазон
Работа в рентгеновском диапазоне требует использования специализированного оборудования и материалов. Это материалы для оптических систем, работающих в рентгеновском диапазоне, источники излучения, специальные детекторы и т.д.
К наиболее перспективным работам в этой области можно отнести рентгено-флуоресцентную спектроскопию, рентгеновскую микроскопию, рентгеновскую томографию и т.д.
Экстремальное ультрафиолетовое излучение
Экстремальное ультрафиолетовое излучение в настоящее время являет одной из самых интенсивно исследуемых областей электромагнитного спектра. Это связано с переходом процессов производства в микроэлектронике на этот диапазон. Это процесс производства микрочипов, метрология (инспекция фотошаблонов), микроскопия.
Основные работы в этом направлении сосредоточены в области разработки элементов оптических систем, источников излучения, детекторов, систем диагностики плазмы и т.д.
Диапазон, включающий ультрафиолетовое, видимое, инфракрасное излучения
Аналитическое оборудование, использующее для работы ультрафиолетовое, видимое и инфракрасное излучение, является самым распространённым в настоящее время. Разработка специализированных спектрометров, считывающих систем, устройств для дистанционного зондирования входит в нашу область интересов.
Неоптические спектрометры и спектрографы
Спектроскопическое оборудование не ограничивается исследованиями электромагнитного излучения. К нему можно отнести различные устройства для получения распределения других характерных величин. Например, регистрация ионных спектров плазмы.